近期，中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室与香港城市大学合作，在自供电加速度传感器方面取得新进展。无线传感网事业部硕士研究生向成豪与其导师车录锋、周晓峰发明并研制了一种柔性摩擦发电加速度传感器。向成豪以第一作者身份将相关研究成果A self-powered acceleration sensor with flexible materials based on triboelectric effect 发表在《纳米能源》（Nano Energy）期刊上。

该论文提出了一种新颖的柔性摩擦发电加速度传感器，不仅不需外界能源实现自供电，而且不用任何保护结构可以承受15000 g加速度的冲击，这项工作把MEMS技术和柔性电子学相结合，为自供能、抗高冲击加速度传感器的研究提供了新思路。

该工作得到了微系统技术重点实验室创新基金的大力支持。

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上海微系统所在自供电加速度传感器研究方面取得进展